真空等离子喷涂（vps）是一种真空等离子体增强涂层工艺。这个过程给了表面一些特性，但载体材料没有改变。当真空室里面的容积到达19000L的时候，该系统就会成为现代最大功率的真空等离子喷涂设备。
真空等离子喷涂系统的涂层工艺要求采用双壁水冷真空室。将要涂层的零件放置在内部，然后关闭处理室，真空系统将在0.08 mbar的压力下排出腔室。这样可以确保大气中的氧气和附着在部件上的水蒸气完全排出，在涂层完成后并不会对设备表面产生什么不良的影响，并且不会出现影响设备原有特性的情况。同时，为整体的生产环境打造出一个良好的纯净气体施工条件。
当进行操控时候工艺流程中的空气中有混合物时候并且把真空等离子喷涂喷涂设备启动，这时候制备涂层才会开始。这是为个别涂层和材料定制的。涂层主要受能量输入、所用气体和气体混合物、温度、涂层时间和单工序压力水平的影响。
在高电流的情况下，等离子体产生电弧，将能量传递给涂层。喷粉在气体射流中混合，在20000摄氏度的温度范围内形成液滴，并加速、压缩和喷射到工件表面。真空室中的加工机器人在这一过程中移动等离子燃烧器，并确保所有零件都均匀喷涂，整个涂层过程大约需要30分钟。
